建议不要使用了，辉光放电倒不会击坏基座，但是它打到基座上的话会轰击出基座上的金属离子，对你镀的膜造成污染如果不是贵金属的话直接扔掉，如果是贵金属的话重新熔铸吧。...

1、把靶材绑定在铜背上，主要是为了提高靶材的散热性机械强度和电导性，同时也考虑到成本因素这样做可以帮助提高镀膜过程的效率和质量，同时也延长了靶材的使用寿命散热效...

磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式，就是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上，使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成...